二手 ASML AT-850C #9281763 待售

ASML AT-850C是一种高性能晶圆步进器，旨在生产具有非常精细特征尺寸的半导体器件。它能够进行层对层打印曝光，最终分辨率为µm，相当于0.25微米。ASML AT850C利用先进的光刻设备来制作非常精细的图样，使其成为半导体制造的理想选择。该系统能够在4轴步长和扫描模式下运行,从而提高了吞吐量和吞吐量,同时降低了噪声级别。该单元由光源、光学元件、投影镜头和基于扫描仪的舞台组成。光源是峰值强度为20万勒克斯的高能氙灯，能够提供高达35万勒克斯的总强度范围。可以调整光的偏振以获得最佳的图样。光学元件包括经过校准的反射器、滤镜和为最佳图像质量而设计的光学元件。此外,还集成了飞回摄像机,以自主和连续地监视失调、对比度、曝光和滤镜状态等。使用专用的传输帧移镜像工具来校正晶圆失真。投影透镜是一种定制的消色差透镜，最大NA为0.65，光圈为10-15mm，提供了光能向晶圆高度均匀高效的传递。投影仪镜头具有高精度光学器件，确保光照功率一致。基于扫描仪的AT:850C级包括一个先进的闭环伺服资产,用于在快速扫描轴上移动掩模和晶片,跟踪掩模和晶片温度,以及监视掩模和晶片振动。采用专门设计的高精度XY表,在X轴和Y轴上分级掩模和晶片,精度为10 µm。ASML AT 850C旨在支持半导体行业所要求的最先进的光刻工艺。它将高吞吐量和精确度与最大生产率相结合,为高端设备制造商带来了最大的工艺效率。