二手 ASML AT-850C #9293663 待售

ASML AT-850C是一种最先进的晶片步进器,旨在支持193 nm步进器应用程序。它旨在产生非常精确、有效和一致的光刻结果。ASML AT850C设计用于广泛的应用,如EUV业务应用、掩模制造行业和光刻应用。AT:850C晶片步进器设计的最小数值孔径为0.76，最大全数值孔径为0.80，以实现光刻。其基于交替偏振衍射光学元素的照明设备使偏振相关照明与偏振照明具有一致的模式保真度。步进器还配备了高度先进、精确的定位机构，设计用于将晶片与光学元件对准，精度为1微米，以实现精确的步进器对准和对焦性能。ASML AT 850C由一个溷合磁性和线性直驱扫描系统提供动力，该系统旨在消除扫描单元中的滞后现象。它还支持快速扫描速度，并具有恒定的加速度和减速，以确保在样品上不断清晰的成像结果。它采用高性能共振子系统,旨在减少有害振动并提供稳定的成像结果。晶片步进器支持多种功能,包括高精度双轨掩模对准器、增强的四象限场重迭选项以提供更好的成像效果、增强的多轨自动对焦校准、改进的光学机翼、自动步进器清洁检查以及改进的照明稳定性。步进器还包括一个设计用于对齐多次曝光以提高精度的羽化对齐函数，以及一个算法启用的自平整特征以避免错位。最后，AT850C配备了眼睛安全的闭环激光器，通过不断监测激光束来确保安全。此外，步进器还包括对比度检测等定制视觉系统，额外的创意照明模式，以及增强的照明对称选项。总体而言,ASML AT:850C是一种高度先进和复杂的晶片步进器,旨在为各种应用提供一致、精确和精确的光刻结果。