二手 ASML AT-850C #9404356 待售

ASML AT-850C
製造商
ASML
模型
AT-850C
ID: 9404356
System, 8"-12" SMIF / FOUP CYMER ELS 7600 Laser AOM Laser Excimer laser LMA Module Bottom module MCM (Machine Cabinet Module) Reticle, 6" Left in-line Wafer stage Reticle stage Wafer handler Reticle handler Charcoal filter Side channel blower Air Control Cabinet (ACC) (2) Covering panels Frame parts: MB, Mcab, RH WH Process module: Composition / Type PM1 / Light source PM2 / Alignment PM3 / Stage Cabinet: MDC LCWC MCWC Exhaust cabinet Spare parts included Does not include Hard Disk Drive (HDD) Operating system: UNIX 2004 vintage.
ASML AT-850C是一种用于制造半导体器件的步进器。它可以生产多种设备,例如集成电路和内存设备。ASML AT850C是一种具有大孔径、高分辨率和高吞吐量的高级步进器。它是一种I线步进器,也可与KrF光刻一起使用。AT:850C结合了高度精确的镜头设计和先进的多轴对准设备,使用户能够实现高分辨率和精确的临界尺寸(CD)对准设备制造。该机器还具有较长的聚焦深度(DOF),允许以最小的倾斜误差对设备的所有层进行成像。这使得ASML AT:850C适合生产高收益率的高性能设备。AT-850C是一种高温真空步进器,它使用户能够在稳定的环境中操作机器,具有良好的过程控制,给用户一致的成像性能。它还配备了高度均匀的光束管理系统,这是光刻性能和曝光精度所必需的。ASML AT 850C具有一个全面的软件套件,可帮助用户实现自动对齐和曝光以及数据管理。这使用户能够快速准确地适应不断变化的晶圆环境,优化吞吐量和设备产量。机器还有一个多模式曝光单元,使吞吐量最大化,确保设备尽可能快速准确地曝光。AT 850C是一种强大的设备制造工具。其大孔径、高分辨率和高通量使其成为生产高性能设备的理想选择。其多轴对齐机和软件套件为用户提供了对设备曝光的详细控制,确保了高设备产量和准确的设备图像。
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