二手 ASML AT-850D #293822110 待售

ASML AT-850D是一种先进的晶圆步进器,可满足最新晶圆生产要求。这种光刻设备为各种晶片基板提供高精度的光学对准和成像能力，其中包括硅、砷、石英、多晶金刚石等。ASML AT850D能够产生小至0.25微米的特性,并且可以容纳6英寸大小的晶片。这套系统配备了高分辨率AMT（有源镜像技术）轮廓监视器、数值孔径为0.55的特殊步进镜头以及包括数字内存控制器和微处理器在内的相应驱动技术。它还配备了独特的"扫描与匹配"功能，在0.25至20微米的光束范围内自动优化聚焦和曝光。AT 850D具有完全自动化的3轴光对准装置，能够精确放置设备和聚焦精度。该机还具有先进的用户界面，允许简单直观的操作。此外，AT 850 D为步进室提供了先进的温度控制和监控，允许延长运行时更好的聚焦稳定性。ASML AT 850 D晶片步进器是先进光刻应用如半导体器件、光子学、数据存储等的理想解决方桉。此工具提供卓越的图像质量、准确可靠的处理功能,以及可根据您的特定需求定制的高级自动化功能。通过AT-850D,您可以以较低的拥有成本实现高保真度结果。