二手 ASML AT-850D #9269679 待售
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ID: 9269679
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Stepper, 12"
SMIF
SECE
Reticle size: 6"
Wafer type: Notch
Left inline flow
FOUP Left type
MK V Type: RH Library
BMU Type: Standard
Light source: CYMER ELS-7600
Stage:
Scan speed: 320 mm/sec
Pin chuck
2004 vintage.
ASML AT-850D是为生产半导体器件而设计的晶圆步进器。在实现高分辨率过程和准确性方面,此高级工具提供了卓越的性能。该机器尺寸紧凑,能够处理直径达8英寸的晶片,分辨率高达5 µm。它配备了不是一个而是两个先进的光刻系统,配备了高精度镜头和一个基于激光的自动对焦设备。ASML AT850D凭借其先进的模式放置系统,能够获得优异的成像和阵列效果。该装置集先进的遮罩对准器、光学对准、自动边缘检测和先进的照明技术于一体,提供卓越的图像质量和准确性。该机还配备了高性能CCD摄像头,设计用于快速、准确检测缺陷和自动放置图样。此外,该机器能够进行多种模式识别模拟,从而能够在单个晶片上高效生产几个不同的层。在安全方面,AT 850D通过其符合安全要求的自动测量工具和气压控制提供安全操作。它还具有先进的电机设计和灵敏的过载保护功能,可防止步进器出现不安全的工作条件。除了这些特点外,该机还配有各种配件,如内部检验装置、镜片清洗站、晶片装载机/卸载机、冷却器资产、输送机型号等等。这样可以确保晶片步进器的有效和安全操作。总之,ASML AT 850D是寻求高分辨率生产半导体器件的理想晶片步进器。它配备了先进的光刻和成像技术,透彻的安全特性,以及提供卓越效果的多种配件。
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