二手 ASML AT 850T #9293665 待售

ASML AT 850T是一种晶圆步进器，用于半导体集成电路的制造。它是一种将所需的图样曝光在涂有光刻材料的晶片上的设备。这样可以精确地制造集成电路。AT 850T是一种先进的步进器，使用投影类型的成像设备操作。它会从主光掩模中启动曝光,并在基板上生成必要的图像。它使用光学投影系统在基板上创建所需图桉的图像。步进器的分辨率为0.33微米，可用于生产先进且非常复杂的集成电路。该单元还设计用于生产曝光面积最大8英寸的超大型晶片。ASML AT 850T具有多种功能和选项,可轻松自定义曝光过程。例如,它有一个基板偏置设置选项,允许用户调整电压设置以确保所需的模式印在基板上。步进器还包含一台对齐机，使掩蔽过程与所需的模式完美对齐，以确保准确的结果。步进器还具有针对每一层编程最佳曝光剂量的功能。步进器还配备了激光干涉仪工具，可以在原始图像和投影图像之间进行精确的光学对准，并减少误差和像差的可能性。步进器还包含一个自我诊断资产，该资产自动检查步进器的功能，以确保平稳运行。总体而言，AT 850T是一种非常先进的晶圆步进器，为集成电路的生产提供了优异的效果。其广泛的特性和选项使步进成为小型企业和大规模生产的理想选择。它是生产半导体集成电路的行业标准，在工业上用于大批量生产。