二手 ASML AT400S #293625709 待售

ASML AT400S是用于光刻的先进、最先进的晶圆步进器,用于阵列集成电路。它是在半导体晶圆上创建亚微米结构的一种专门、高度精确的工具。它使用近紫外线、可见光或红外光和遮罩将图桉传递到表面。AT400S具有700毫米、300毫米的场大小和先进的Theta定位阶段。该设备的分辨率为5-6nm线性和12nm旋转精度。它具有0.55的数值孔径，使其能够在公差非常严格的高分辨率IC上工作。ASML AT400S具有广泛的自动化功能,包括图像识别、运动控制系统和自动批处理。它还具有存储和召回配方的能力，使模式设计者能够快速设置和运行系统。AT400S非常用户友好,具有图形化的用户界面和直观的控制。它有一个内置的跟踪和对准单元，通过跟踪每个曝光周期的模式设置和对准参数，自动保持对准精度。这允许可重复和可预测的结果。ASML AT400S配备了晶片扫描机，允许扫描整个晶片的缺陷。此工具能够检测和拒绝有缺陷的部分,提高产量并节省时间。AT400S的生产能力是无与伦比的，资产能够以每小时6万台的速度运行。这使制造商能够提高生产效率、降低成本和提高产品质量。总体而言,ASML AT400S是一种精密、精密的晶圆步进器,旨在创建具有高度精确模式和极紧公差的集成电路。此模型采用了许多自动化功能、直观控制和生产速度,这在业界是无与伦比的。