二手 ASML AT400S #293638713 待售
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ID: 293638713
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
i-Line scanner, 12", parts system
Wavelength: 365 nm
(2) XCWC
Racks:
MCWC
LCWC
MDC
AA LMA
Airmount
AA
CT
MO
MI
IPDR
RH
PFU
RS
WS
MO
MI
WH
RS Balance mass
RS Long stoke-Y
WS Short stroke-Z
RS Short stroke-XZ
WS E-side long stroke
WS Balance mass
WS Short stroke horizontal
Bottom module
2001 vintage.
ASML AT400S Wafer Stepper是一种用于将图样传输到半导体晶圆上的设备。它是一种高度精确的工具，能够将照片掩模上的电路精确图案化到晶圆上。AT400S晶片步进器由级、光头和系统控制器组成。该级具有沿x轴和y轴移动晶片的能力，精度高达0.25微米。另外，舞台有内置的加热元件和热板，可以调节晶圆的温度。这保证了优质产品的生产。光学头包含将光束从掩模对准晶片的还原透镜系统。它利用Rh型的掩模来产生蚀刻晶片的光。光束精确地对准晶片的表面，使图样被精确地传递而不会失真。系统控制器是机器的核心。它负责监视和控制机器的各个部分（包括舞台、光头、光束的强度和焦点以及曝光时间）。它还存储每个电路的必要参数，使机器能够精确地对每个晶片进行制图。ASML AT400S Wafer Stepper专门设计用于提供将图样传输到晶片的最高精度和精确度。它是一种可靠且易于使用的工具,可最大程度地降低出错的风险,并可保证达到最高标准的成品。
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