二手 ASML AT760D #9298747 待售

ASML AT760D晶圆步进器是一种用于半导体制造的最先进的机器。它设计用于在有限的空间内移动半导体晶片，以便在"步进"和"扫描"阶段将晶片精确对准并暴露于紫外线光源产生的光。AT760D可以处理各种晶圆直径（150、200和300毫米）,并配备各种功能,使其能够有机和自动执行大部分步进操作。步进器可用于深紫外线（DUV）、极紫外线（EUV）和极紫外线纳米光刻（Nano-EUL）等多种光刻应用。此外,ASML AT760D能够处理多层标线,因此非常适合多阵列应用程序。AT760D采用独特的闭环扫描仪位置控制设备,以确保准确放置模式。该系统利用超高精度线性刻度精确测量实时晶圆运动和位置。此外，该装置减少了废物生产，因为它最大限度地减少了模式登记错误和重迭。ASML AT760D旨在通过其先进的迭加步进机来优化模式放置。晶片在舞台上移动时，实时跟踪其位置，动态补偿其运动，以确保精确的图样放置。这样可最小化步进操作时间并提高吞吐量速率。AT760D是为最大刀具吞吐量和性能而设计的。利用多相邻晶片级的优化真空进料设备，缩短了对准时间，提高了放置精度。此外，步进器高度可靠的运动控制系统确保了良好的批对批精度和晶片对晶片的一致性。ASML AT760D还支持各种满足生产要求的选项,例如空气磨料和热退火能力。此外，步进器还配备了先进的真空模型，以实现精确的转移和减少粒子产生。除了先进的特点外，AT760D还增强了防尘结构、改进的密封和防静电设计等环境特点。这些功能确保步进器高效可靠地运行,并符合安全法规和标准。总体而言,ASML AT760D晶片步进器是一种先进可靠的光刻应用机器.凭借其精确的闭环扫描设备、优化的进料系统、增强的选项和环境特性，它一定能满足最苛刻的半导体生产需求。