二手 ASML C-QUAD #9070539 待售

ASML C-QUAD
製造商
ASML
模型
C-QUAD
ID: 9070539
Illuminator Designed for 5-slot illuminator holder Used on ASML Twinscan XT1900Gi Currently in storage.
ASML C-QUAD是一种用于半导体光刻的晶圆步进器。它是整个半导体制造行业使用的关键工具,因为它使半导体芯片能够以极好的分辨率进行阵列设计。C-QUAD具有先进的光学技术、固件和软件,以及一套专门的可自定义组件。ASML C-QUAD可以使用步进对准设备(SAS)以极高的精度暴露光刻胶层。步进对准系统将标线和晶圆之间的模式对准位点(称为基准位点)进行对比,以确保每次曝光时都精确对准。此外,先进的光学设计可确保每次曝光的成像质量保持较高水平。在晶片步进器本身内,包含了许多关键元件。包括激光干涉仪单元,以保持定位精度,步进硬件有传感器检测运动和温度的操作条件。C-QUAD还拥有大容量的自动对焦机和优化的标线库。标线库存储用于曝光的计划模式的高分辨率信息。ASML C-QUAD能够在许多标线之间存储和切换,从而使不同的模式能够暴露出来,而不必更换标线。为确保最佳性能,C-QUAD包括专用软件。许多协议用于确保整个步进器的精确操作。这些协议的范围从数据访问到曝光前校准和对齐。此外,软件还包括通信协议,以确保与标线库和其他外部数据源的数据同步。ASML C-QUAD的高级功能使其成为许多半导体制造设施的理想选择。这是一个可靠的解决方桉,以非常精细的分辨率生产高质量的半导体芯片。C-QUAD拥有广泛的可自定义组件以及先进的软件和硬件,可提供卓越的准确性和性能。
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