二手 ASML FLOW SUB B/D #9292389 待售

ASML Flow Sub B/D是一种晶圆调平器设备，设计用于提供晶圆带路径长度和晶圆平坦度的实时控制。它能够精确测量、调整和补偿晶片带几何形状和表面质量的变化。该系统具有精密的机械和电子控制单元，在晶片带几何形状和平坦度的分辨率方面提供最高精度和可重复性。该机采用先进的双平面扫描工具，以确保最佳路径长度和平坦度测量。一个平面专用于晶圆的整个表面的概述，而另一个平面专用于表面的深入。概述扫描使用户能够检测和测量整个晶圆表面以及深层特征中的大不规则性。通过这一过程，用户能够检测和测量晶片上的各种电气和/或光学特性。深入扫描提供了更详细的小尺度特征测量，让用户更好地了解晶圆的表面。资产包括一个4轴运动模型,它能够处理直径不超过300 mm的大型晶圆。设备还包括4台线性伺服电动机，以确保晶圆的精确、平稳的运动控制。此外,系统还包括一个9轴运动控制单元,其设计目的是使磁带路径与晶圆磁带的精确几何形状精确对齐。为确保机器的最高精度,Flow Sub B/D包括许多先进的光学对准传感器和激光投影仪。这样可确保刀具公差保持在高精度范围内。它还允许用户在长时间的生产运行和预测性维护要求期间跟踪晶圆磁带性能。资产还包括提供晶圆面部识别和定向配准的磁性编码器模型。这种人脸识别设备使系统能够准确确定晶片的方向，并确保晶片带正确对齐。Flow Sub B/D设计为晶圆调平器的高效、可靠、准确的工具。ASML Flow Sub B/D具有先进的特性和精确的控制单元,能够精确测量、调整和补偿晶圆带几何形状和平坦度的变化。