二手 ASML LISAP 3P #9292410 待售

ASML LISAP 3P是用于半导体工业光刻应用的下一代晶圆步进器。该机采用精密的三板结构，高效、高效、精确地进行半导体晶片层的增量运动和对准。晶圆步进器的主要部件是主机架、驱动设备、同步电机、干扰机、光学系统、真空单元等外围部件。主框架的设计保证了晶圆步进器的平稳稳定的运动和运行。这是通过超轻型刚性结构完成的，该结构包括一个内部外壳、一个支撑板和一个外墙。驱动机器包含嵌入式驱动马达，可提供步进器平滑精确的增量运动。电动机由可编程电动机驱动，能够以极高的精度精确控制电动机的速度。光学工具采用光束成形技术，确保步进器运动的最高分辨率和精度。这项资产由多层光学技术、微光刻技术和精确校准组合而成，所有这些都共同努力，确保晶圆的完美激光对准和精确定位。真空模型用于在步进器运行时保持安全的环境，提供平稳清洁的工作环境。步进器具有各种高级功能,使其具有高度可定制性。操作员的控制台配有触摸屏和按钮，可以直观的方式对步进器进行编程和操作。可以编程为执行多个不同类型的光刻工艺步骤，并会根据工艺要求自动调整参数。此外，机器还可以与其他扫描仪和其他专用设备如模式发生器和光学计量系统集成。LISAP 3P是一款高度可靠、坚固的机器，专为满足半导体行业苛刻而精确的生产需求而设计。其先进的功能结合起来，提供高效、精确的晶圆定位能力，允许精确和可重复的生产周期。