二手 ASML NXT 1950Ai #9280821 待售

ASML NXT 1950Ai是ASML最先进的晶圆步进器,ASML是半导体制造技术的领先创新者之一。该设备是ASML NXT系列产品的最新产品,具有无与伦比的精度、多功能性和可扩展性,可满足广泛的晶圆处理需求。NXT 1950Ai配备了先进的光刻投影光学器件，由超短波、完全稳定的激光元件和四倍单色仪组成。这确保了高度复杂的投影模式的高精度和可重复性，这对于现代晶圆光刻是必不可少的。投影镜头还配备了新开发的像差校正系统，以获得最高的成像质量。机器的特点是具有四个轴的复杂运动单元，使步进器能够在晶圆周围精确快速地移动。这使得晶片能够精确对准投影光学器件，以及调整镜头的焦点到晶片表面。ASML NXT 1950Ai能够在最先进的半导体晶圆生产要求范围内,将功能尺寸降低到65纳米。这是由于激光源的高强度使得光束可以快速传递到晶圆。当需要更精细的光刻特性时,它还提供更长的曝光时间。此外，该机器有一个自动对准机器，使晶圆的对准容易和准确。在制造尺寸较小的晶片时,NXT 1950Ai也可用于高分辨率直接写入（HRDW）过程。这些过程使得晶片可以直接写到旨在降低平版印刷成本上。最后,ASML NXT 1950Ai可实现最大的正常运行时间和工作效率。它配备了大容量冷却工具和先进的隔振，以实现一致可靠的运行。此外,所有组件都非常易于访问和故障排除,从而确保了常规维护所花费的最短时间和成本。总之，NXT 1950Ai是晶圆步进技术的前沿，是半导体生产的有力工具。它为各种晶圆光刻工艺提供了最高水平的精度和准确性，并为生产更精细尺寸的半导体器件提供了直接写入能力。此外,其坚固的设计确保了可靠的操作和最低的维护成本。