二手 ASML NXT 1950i #9293666 待售
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ASML NXT 1950i是一种晶圆步进器,设计用于在晶圆基板上生产存储芯片。该机利用先进的多区域照明设备,将光源精确投射到晶片上。这样可以改进阵列处理过程中的曝光控制。独特的照明系统与专有的步进重复技术相结合,突破了特征分辨率、位置精度和吞吐量的界限,使NXT 1950i在市场上与众不同。该机占地面积小,模块化设计,设置维护简单。它不需要许多竞争机器的大量开销,从而降低了成本并简化了工作流程。该单元提供了许多软件功能,如模拟和图形用户界面(GUI)工具,以最大限度地提高工作效率。它还配备了直观的自动对齐机,无需手动操作监督。ASML NXT 1950i具有先进的光学工具,能够产生极高的分辨率模式和高吞吐量。其卓越的精度是通过最新的投影光学和独特的双图像资产实现的。此外,这台机器还配备了先进的X-Y扫描系统,允许精确和可重复的对准曝光,从而带来卓越的聚焦和性能。NXT 1950i还拥有一套自动调平技术,可确保整个生产周期的最大吞吐量和准确性。机器内的自动校正机制,以及专有的实时监视器校准系统,有助于减轻任何过程的退化。这些技术结合强大的4G暗场掩模模型,使机器高度可靠。ASML NXT 1950i设计为全天候运行,输出质量和产量优异。其先进的功能提供了卓越的工艺产量和成本节约。由此,适用于内存生产、相片面罩制造、平板显示器制造、医疗器械生产、光学传感器等领域非常复杂的工艺开发。
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