二手 ASML NXT-AI #9304318 待售

ASML NXT-AI是一种晶片步进器，可实现半导体晶片曲面的高精度阵列。这台机器是步进器，这意味着它使用一个步进重复的过程来沉积一个抗蚀剂材料来绘制晶片表面的图样，而不是像曝光设备那样完全扫描每个晶片。该机由四个主要部件组成：基板输送系统、激光曝光装置、曝光后烘焙机和检验/清洁/干燥工具。基板输送资产将晶片沉积在一个旋转的盘片上，然后将其发送到光学扫描仪。扫描仪利用激光的能量通过暴露抗蚀剂材料在晶片表面上创建图样。PEB模型用于通过烘烤抗蚀剂来帮助形成图样。创建图样后,检查设备用于检查晶片是否有缺陷,清洁/干燥系统用于在装运前擦除晶片。ASML NXT AI的关键特点是其双级X射线投影单元，使得高精度的纳米图样化成为可能。这台机器使用了8纳米分辨率，用于一个极其细致的图案化晶圆表面。该机还配备了离轴源，通过从边缘到边缘产生更均匀的图样，提高了图样的精度。此外，机器还配备了自对准工具以及各种剂量和放置系统，这有助于限制过程的可变性。NXT-AI晶片步进器设计具有高速内部内存和处理能力，确保高吞吐量和高效运行。该机不含VOC，旨在提供高模式保真度。它还符合AEC-Q213要求,允许在出现处理错误时进行可靠的即时调整。此外,该机器还配备了自动化维护功能,有助于减少停机时间并提高长期可靠性。总体而言,NXT AI晶片步进器是一种先进的机器,能够在半导体晶片上提供高保真度、高精度和高可靠性的高分辨率模式。这台机器旨在为半导体制造商提供最大的效率和性能,其先进的功能使其能够创建复杂的高分辨率纳米图桉曲面。