二手 ASML PAS 250 #293805262 待售

ASML PAS 250是一种先进的光学成像设备，设计用于在光刻过程中在半导体晶片上产生极其精确的图样。由于其无与伦比的精度和处理速度，它是半导体工业中使用最广泛的步进器。PAS 250系统由计算机控制的主机、计算机数控（CNC）主机和光学柱组成。大型机精确控制步进器的X和Y轴以及容纳光学单元的Z轴。CNC大型机控制工作台的操作和机器的图像传输曝光能力。此外,可以将主机配置为有选择地在晶片上蚀刻、开发和烘烤薄膜,以实现预期的设计布局。ASML PAS 250的光学柱安装并铰接在主机上，由各种镜头、镜子和其他元件组成。此列允许通过曝光机制以所需的布局将成像数据投影到晶片上。由于PAS 250的精确度非常高，小至0.2 μ m的特征可以蚀刻到晶片上，分为几层，图样错综复杂。CCD总暴露面积为6.8毫米，现场收敛精度为+/-0.15 μ m，使得该工具非常适合生产集成电路和其他组件。ASML PAS 250还能够进行多模式交换和曝光,由于模式曝光时间较快,因此能够提高生产率和提高设备质量。此外,PAS 250还配备了许多高级功能,可简化平版印刷过程。这些功能包括可移动平台、自动聚焦资产和集成步进控制单元。可移动平台允许操作员曝光错综复杂的图样，而自动对焦模型则通过调整镜头、对焦和滤镜设置来优化步进器的性能。集成步进控制单元优化了工艺参数，从而提供了更高的吞吐量和更好的成像效果。总体而言，ASML PAS 250是一种先进的晶片步进设备，它为半导体晶片上的复杂图样的生产提供了卓越的成像能力。该系统的准确性和多功能性使其成为各种应用程序和行业领域的首选。