二手 ASML PAS 2500 / 10 #9241066 待售

ASML PAS 2500/10是由半导体制造设备公司ASML设计生产的晶圆步进器。它是一台相对先进的机器，采用先进的成像、图样和运动技术，在晶片上精确地制图光抗蚀剂。这台机器有两个光学放置系统，一个确定晶圆定位，一个确定阵列设备微观偏移的对准场。图样化是使用一个投影系统实现的，该系统具有一个由10微米激光和5英寸三角形镜组成的投影单元。它也有能够移动晶片的机械手，使晶片的不同部分可以暴露于来自激光的光中。定位和对准系统允许光刻胶的精确定位，偏差小于1微米。投影机使用光刻透镜，允许0.5微米的精细曝光分辨率，使用特殊透镜可以获得更好的分辨率。该工具还采用自动聚焦功能,以确保阵列始终处于清晰聚焦状态。PAS 2500/10配备了晶片卡盘机构,该机构包括使晶片保持运动的热卡盘和将晶片固定在阵列上的霜状卡盘。热卡盘还使ASML PAS 2500/10能够在不同的曝光任务之间快速切换。晶片步进器还包括一个晶片级，设计用于提供稳定和可重复的自动运动控制。PAS 2500/10共有六个运动轴，其中三个专用于晶圆运动，一个专用于投影透镜，一个专用于标线，一个专用于晶圆级。它还有一个五点相关标记，允许光掩模对准到一微米以内。ASML PAS 2500/10还具有用于自动光刻烘烤的先进双轴机械手,可提高工艺精度并确保光刻涂层均匀地分布在晶片上。它还有一个输送机资产，便于晶圆从机器转移到机器。PAS 2500/10是一种高度精确的晶圆步进器。凭借先进的成像、阵列和运动技术,它将ASML在半导体制造设备方面的专业知识带到了中小型和大型生产运行中。它的运动精度保证了严格的公差，光刻烘烤模型保证了受控和准确的曝光，从而能够以经济高效的方式创建高度精确的图样。