二手 ASML PAS 2500 / 30 #293817891 待售

ASML PAS 2500 / 30
ID: 293817891
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.43 Resolution: 800 nm DCO:  150 Throughput (WPH): 60.
ASML PAS 2500/30是具有先进工程和技术能力的晶圆步进器。这种晶圆步进器在半导体工业中处于领先地位,提供高产率的小型精密元件,同时减少浪费材料的数量。PAS 2500/30配备了5轴扫描仪,最多可容纳30个晶圆,可以配置客户定义的6英寸到12英寸的卡盘直径。采用集成空气轴承保证高精度定位.这种设计允许快速加速和高速扫描的高吞吐量。ASML PAS 2500/30的非典型特点是其突出的聚焦功能。该晶片步进器能够消除波长为248nm时晶片表面上高达10nm的残余聚焦误差。此外,步进器能够自动对焦以产生最高质量的图像。PAS 2500/30完全自动化,运行平稳,不断优化其流程。它还具有自动曝光控制功能,使机器能够根据不同的晶片类型调整曝光参数,大大减少了编程或设置晶片步进器所需的时间。此外,它还具有冗余的安全功能以及专有的缓冲系统,可提高步进器的工作效率并降低运营成本。ASML PAS 2500/30是为可靠性而构建的,可以在最短的停机时间内长期运行。其先进的设计和卓越的工程技术使其成为以最高效的方式生产高质量元件的理想选择。其无与伦比的准确性和可重复性有助于确保客户能够依靠它来持续生产最佳零件。PAS 2500/30是高科技工程项目的理想选择。
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