二手 ASML PAS 2500 / 30 #9190605 待售

ASML PAS 2500/30是用于生产半导体器件的晶圆步进器。它是一种结合了光学、力学和控制技术的最先进的设备，可以产生高分辨率和高精度的曝光图像。这种步进器的先进能力使得它适合各种各样的应用和生产要求。该系统采用低放大倍率、长工作距离镜头，以减少近红外区域的焦移。这样就可以产生30到120毫秒的短曝光,并提高吞吐量。X/Y级采用基于精密伺服的运动控制，采用先进算法，在紧密封装中提供顶级精密运动控制。该单元采用步进和重复技术，通过将图像快速写入晶片来实现高吞吐量。步进器具有场顺序照明（FSI），还支持均匀等通量照明（EFI），用于控制曝光剂量，提高图像分辨率的准确性和均匀性。步进器还具有可编程的曝光系统，以优化曝光能量，减少曝光期间焦点和热漂移的影响。该机具有精确、快速的自动校准工具，可根据对准和焦点偏差进行调整，从而提高吞吐量，减少停机时间。它还包括用于剖面和异常检测的系统，这些系统能够更好地控制光线强度，以提高暴露剂量的准确性。此外,资产还使用缺陷检查和审查系统来检查曝光图像的质量。PAS 2500/30是一种先进的型号，适合生产精度和精度最高的半导体器件。它具有精确运动控制、现场顺序照明、曝光剂量精度系统、图像检视系统和缺陷检测等优异的特点。这使得它成为生产高质量半导体器件的可靠高效的工具。