二手 ASML PAS 2500 / 30 #9241931 待售

ASML PAS 2500/30晶圆步进器是一种用于半导体制造过程中，将图样暴露在集成电路（IC）基板表面的设备。它是一种精密设备，能够精确、一致地将电路特性打印到硅片上，精度极高。PAS 2500/30是一种先进的步进设计，利用光学还原技术在硅片上精确地暴露所需的图样。步进器配置有两个控制系统,一个外部设备和一个内部系统。外部单位负责洁净室管理，将晶片暴露在受控过程中，并保持精确的对准和准确性。内机负责微调晶片的曝光。此工具监视和调节阵列保真度、对齐方式以及实现所需特征大小所需的过程。ASML PAS 2500/30利用了多种光学器件和一种逐步重复的方法。光学阵列由多个透镜、滤镜和其他组件组成，这些组件都精确对齐，将输入模式引导到硅片上。这种光学阵列与步进重复的方法相结合，以精确地暴露晶圆图样。步进器通过索引增量循环聚焦模式和载波,并以每个周期固定的次数步进整个字段。这有助于确保准确的模式曝光。步进器的外部资产监视晶圆覆盖层的大气和光屏蔽，可以控制环境条件，如温度和气压。这有助于确保晶片的曝光与阵列布局中指定的完全相同。此外,PAS 2500/30还包括一组精确测试和计量工具,可用于监视和测量步进器的性能。这些工具可以提供与步进器的曝光、对齐和性能相关的数据,并有助于确定其操作中的任何潜在问题。总体而言,ASML PAS 2500/30是为半导体制造过程而设计的高度复杂和精确的晶圆步进器。它能够以极高的精度将图样暴露在硅晶片上，从而可以生产高质量的集成电路。这种步进器是任何现代半导体制造设施的宝贵设备.