二手 ASML PAS 2500 / 30 #9356985 待售

ASML PAS 2500/30是个人大小的高分辨率CD步进器，专为广泛的晶圆处理应用而设计。它是一种用于亚微米特性尺寸的制造应用的强大解决方桉,提供卓越的过程控制、高吞吐量和超清洁操作。步进器结合电子束光刻的优点和紧凑平台的柔韧性和兼容性，使其成为半导体制造的理想选择。PAS 2500/30的200 mm晶圆平台提供了最高分辨率的晶圆处理，超过了其他集成光刻系统。ASML PAS 2500/30具有使用高级算法的最先进的参数控制功能,允许在整个字段中优化亚微米迭加。晶片步进器使用衍射光学元件与成束镜配合使用，以确保在广泛的工作距离范围内可重复覆盖。PAS 2500/30提供了极其清洁的环境,其设计可减少静电放电条件。这种组合消除了光刻胶在晶片上的飞溅，并允许处理具有无与伦比的工艺纬度的敏感材料。整体集成环境包括精确的2轴可编程对准系统、PC控制温度、保形保形涂层系统。ASML PAS 2500/30的设计考虑了模块化,允许用户扩展或修改系统配置以满足其制造需求。它还包括一整套集成的计量和检查工具,这些工具具有直观的图形界面,便于设置和优化控制。晶圆步进器的设计采用了可扩展的冷却解决方桉,可随着生产需求的增加进一步提高性能。所有这些功能使PAS 2500/30成为高级晶圆处理应用的智能选择。