二手 ASML PAS 2500 / 40 #293629183 待售
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ASML PAS 2500/40是一种晶圆步进器，设计用于制造半导体、显示面板和医学成像元件。它配备了最先进的光学成像、投影和定位技术，在半导体加工应用中提供最佳的图像均匀性和基板运动控制。设备的核心是双成像器设置，它结合了两个125毫米激光器，创造出一个250毫米的单一光源。这项功能负责高通量和非常高分辨率的成像基板的直径达8英寸。此外，双激光系统还具有350 nm波动小于1 nm的光源成像能力。该装置配备了先进的x, y, z运动控制机，用于基板的精确运动。它采用精密直线电动机设计，提供快速、精确的舞台运动。高吞吐量、高分辨率和高精度位置控制相结合，使刀具每小时可达到高达40个晶圆的吞吐量。资产中还内置了集成晶圆处理模型。这使得传统的基板加载过程自动化，以降低复杂性并增加循环时间。装载机和卸载机采用铰接式臂设计，保持基板位置，优化加工时间。自动化和精确运动控制的结合使设备实现了统一的成像和处理时间。为了进一步提高系统的功能,ASML PAS 2500/40配备了多种可选功能。该软件套件能够容纳各种底物，并允许定制流程和配方。此外，该设备与各种工艺硬件兼容，如自旋漂洗干燥机、清洁模块和狭缝灯系统。PAS 2500/40是一种高效且可定制的晶圆步进器。它结合了精确运动控制、双激光成像、自动晶圆处理和强大的软件套件,以提供最佳的成像和过程控制。PAS 2500/40具有高吞吐量、先进的成像技术以及与各种工艺硬件的兼容性,是满足任何半导体处理需求的理想解决方桉。
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