二手 ASML PAS 2500 / 40 #9010549 待售

ASML PAS 2500/40是一种双光束步进扫描机，为体积亚微米光刻应用提供高精度和高通量。ASML PAS 2500/40设备包括两个独立模块,即扫描仪和源。Scanner是主控制模块,包括全场源掩码扫描仪、入射角控制模块、CoaXPress通信协议以及用于同步数据路径和移动的控制器。同时,源模块包括一个全场40W脉冲激光光源、一个偏振光传递系统、一个波长监视器和一个网格监视器,以确保每次都能实现精确曝光。利用这两个模块，PAS 2500/40非常适合提高晶圆扫描的效率和准确性。而且，PAS 2500/40配备了直观的图形用户界面（GUI），允许用户从触摸面板显示屏上轻松控制单元。此外,ASML PAS 2500/40利用称为SDF （Sequential Deflection Field Mode）的高分辨率扫描机,可以减少广角曝光的放置误差,减少长线特征的失真。而且，ASML PAS 2500/40是一个全场步进器，因此可以提供多达4000个可编程光束，使高分辨率电路的成像变得容易。就性能而言,PAS 2500/40提供了先进的分辨率、卓越的对焦深度和精确的舞台运动控制。它的高精度是通过精确的线性和角度测量，如编码器跟踪和光学计量工具的组合来实现的。此外,该工具设计为具有低像差和低噪声,可确保卓越的成像和光阻。最后，PAS 2500/40带有多种用户友好的特性，如自动晶圆识别、晶圆识别码和参数的即时编程。因此,此晶片步进器是满足高端光刻需求的最佳解决方桉之一。此外,该资产还通过LED指示灯和一致性检查提供了简单明了的监控,为每个应用程序提供了优越、准确的流程。