二手 ASML PAS 2500 / 40 #9193197 待售

ASML PAS 2500/40是一种基于Nexprecis的晶片步进器，专为半导体晶片处理而设计。它采用应用物理、先进光学和纳米技术相结合的完全集成平台，支持整体工艺性能和提高产量。ASML PAS 2500/40集成了旋转膜设计、扫描长度可达40毫米的采集系统和超快50 mHz光学加速控制器。它配备了最先进的软件和车载智能，实现了高速、高精度的晶圆处理。集成的控制和软件系统在晶圆操作中提供了卓越的精度，减少了停机时间，提高了流程吞吐量。Nexprecis平台提供了连续扫描操作和0.2nm的精确剂量校正，从而在半导体加工中实现了更高的产量和精度。该系统还包括用于精确温度和曝光控制的集成过程控制器，确保可靠的光刻结果。PAS 2500/40的超低热轮廓、低应力光学提供了卓越的迭加控制和改进的成像能力，同时多种曝光模式确保了晶圆的快速传输。其内置高温扫描可实现浅层沟槽隔离（STI）处理。PAS 2500/40在流程环境中使用时还提供了更好的性能。它支持高速成像,每秒最多可曝光5次,使用相同的光学器件可实现更高的吞吐量。增强的处理能力为先进的光刻和工艺解决方桉提供了更高的控制和精度。ASML PAS 2500/40是一种高度可靠、经济高效且用途广泛的晶圆处理工具,专为满足半导体制造商的需求而设计。它被设计为高度可配置,并具有直观的用户界面和触摸屏控制功能,使其易于使用并最大化流程性能。