二手 ASML PAS 2500 / 40 #9245751 待售
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ASML PAS 2500/40是晶圆步进器，用于将电路模式传递到晶圆上。这种特殊的模型是一种先进的4百万像素步进器，具有卓越的设备性能，其基础是一种独特且经过验证的使用极紫外线（EUV）成像光学器件的先进投影技术。它提供了改进的成像能力和减少的过程吞吐量时间。它具有较大的腔室尺寸，有助于确保均匀稳定的曝光条件，从而获得最佳的图像性能。它还具有更高的吞吐量，具有能够在每次曝光中容纳多达10个晶圆的工艺室大小。步进器易于使用,并具有自动对齐功能。ASML PAS 2500/40具有高度精确的晶片定位和自动聚焦系统,允许在此过程中精确暴露晶片。先进的车载传感器和接口使它能够检测到任何问题,无论是空气污染还是损坏的晶圆,从而实现快速的服务和最佳的图像质量。步进器还配备了智能标线处理和先进的自动化维修，提供完整的过程控制。PAS 2500/40还设计了特殊的机械特性,可确保激光损伤最小,从而实现一致的图像和工艺质量。这种步进器是为确保可靠性和安全性而设计的，具有晶圆旋转系统和自动标线传输机器人等特点。它配备了一个先进的数据收集单位，提供详细的过程监测和业务摘要报告。其直观的用户界面和易于使用的流程控制软件允许快速的服务和无错误的操作，减少了曝光步骤之间的时间。它还具有远程访问和监视机器,可以监视整个工具、服务和维护要求以及在线步进状态,以便站点与ASML之间进行安全通信。总体而言，PAS 2500/40晶片步进器是一种可靠、高效的高精度晶片成像工具。其先进的成像能力、安全功能和先进的数据收集资产,确保了高质量和一致的性能。
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