二手 ASML PAS 2500 / 40 #9266133 待售

ASML PAS 2500/40是用于微芯片制造的最先进的晶片步进器。它是一种使用五轴成像光学、两个扫描阶段和计算机控制阶段在芯片上产生高分辨率微结构的高精度设备。该系统通过将光的图样投射到掩模上来工作。然后,在整个零件上扫描光源时,蒙版相对于晶片移动,从而在晶片上创建阵列。重复此过程,直到完成所需的模式。ASML PAS 2500/40是一个全场单元,使用空白晶片作为创建阵列的基板。它提供了高度的精确度，允许制造极小的微观结构，具有优越的分辨率和高度的可重复性。PAS 2500/40利用计算机自动设计（CAD）软件界面来创建、存储和检索程序文件,使其高效。该机还配备了优化的光学工具，用于极高分辨率成像。它采用双路径光学资产，融合了高分辨率多发射极光源和光学元件。这允许步进器产生40 mm字段大小的400 nm特征大小和8 mm字段大小的180 nm特征大小。PAS 2500/40还带有一个倾斜旋转阶段，允许在扫描区域内精确定位基板。扫描速度和扫描模式可以自定义,并且能够在扫描操作期间跟踪移动的对象。ASML PAS 2500/40的对比度与分辨率也是可调的,允许优化各种样本量和技术的生产。ASML PAS 2500/40是一种高效、精确的模型，目前被包括半导体、微电子、生物技术、医疗器械制造等多个行业所使用。它专为工业用途而设计,需要最少的维护,因此是广泛应用的绝佳选择。