二手 ASML PAS 2500 / 40 #9275403 待售

ASML PAS 2500/40是一种高级晶圆步进器，设计用于光刻和其他阵列应用。步进器配备了58英寸分辨率的镜头，能够产生0.5微米宽的多种特性。它能够在直径不超过16英寸的表面上产生特征,并且可以装载半导体晶圆、平板显示器和MEMS/NEMS设备等基板。ASML PAS 2500/40利用了几种先进技术来确保光刻工艺的精确度和效率。它具有动态非线性色散像差校正（DCDAC）功能,这是一种用于自动评估和校正投影图像失真的独特光学过程。PAS 2500/40也是第一个加入脉宽调制（PWM）照明的步进器，造成更高的精度和光均匀性。步进器还使用了专利的ImprintPower波长控制系统，以确保一致的曝光剂量。PAS 2500/40提供了易于操作的紧凑高效设计。步进器的物理占用空间很小,可以由单个用户轻松操作。步进器还具有自动对齐功能,可促进层间的精确迭加对齐,并提高边缘放置精度。对齐功能的多功能性还允许用户进行各种调整，如聚焦、旋转、位置和放大等。ASML PAS 2500/40还具有先进的自对准掩码阶段。这一先进技术确保了高达0.5微米的精确掩模对准，同时也减少了由于掩模未对准而出现缺陷的可能性。归根结底，ASML PAS 2500/40是生产高精度光刻图样的先进可靠步进器。步进器易于由单个用户操作,并附带各种先进技术,以确保每个阵列化过程尽可能高效、准确地运行。