二手 ASML PAS 2500 / 40 #9356981 待售

ASML PAS 2500/40是最先进的计算机控制晶圆步进设备。ASML PAS 2500/40能够在直径2-5英寸的各种晶圆尺寸上生成高分辨率图像。该系统采用模块化设计,便于设备的设置和重新配置,从而使用户能够获得最佳性能和最大吞吐量。PAS 2500/40包括一个高度精确、热优化的线性驱动级,它利用了一个独特的、获得专利的基于激光的主动路径补偿（APC）机器。这种先进的APC工具通过调整激光强度以反映地形差异来补偿晶圆地形的差异。因此，用户能够获得晶圆上光学元件的极其精确的对准。此外,PAS 2500/40还包含一个完全闭环的控制资产,允许对位置和曝光参数进行完整的实时反馈。ASML PAS 2500/40还提供了几种高级成像功能,如图像稳定、场曲率校正和几种曝光模式的选择。它还包括一个有效的差分对准模型（DAS）,无需手动调整焦平面。此外，ASML PAS 2500/40具有可选的高精度迭加能力，提供晶圆上光学图样的高质量迭加匹配。PAS 2500/40采用了先进的光学设计，将主光学元件和快速（衰减器）镜头结合在同一设备中。结果是分辨率提高,失真降低。此外,系统还为各种不同的层提供了广泛的设置库。此外,广泛的安全功能集为用户和设备提供了卓越的保护。总之,PAS 2500/40具有高级设计、高度精确的组件和出色的成像功能。它具有灵活性、精确度和图像精度,是晶圆步进系统的绝佳选择。