二手 ASML PAS 5000 / 45 #293749241 待售

ASML PAS 5000/45是晶片级光刻工艺中使用的晶片步进器。该工具在芯片阵列设计中具有较高的精度，广泛应用于半导体芯片制造。晶圆步进器为4英寸（10.16厘米）晶圆设计，但也可用于加工8英寸（20.32厘米）晶圆。它具有高分辨率、4300 nm行星投影光学设备、长工作距离目标、大容量晶圆级和自动对准系统。PAS 5000/45还提供高测量精度和延长工作距离。ASML PAS 5000/45集成的高性能照明单元具有多种照明功能，包括UV灯、冷凝器透镜组件和离子束照明器。照明机确保光源正确对齐，实现了光刻胶的最佳曝光。镜头组件还包括两个可调节的虹膜，可以用来控制光束的大小。使用集成喷头施加抗蚀性涂层，然后将晶片加载到晶片步进器的舞台上。舞台由一个车厢和几个调节晶片位置的支撑导轨组成。该级配备了测量其位置的编码器，以及各种能够检测晶圆厚度的传感器。PAS 5000/45的可靠性通过自动对齐工具得到进一步提高,该工具使用扫描图提供高精度结果。此资产包括用于检查基板上的图样的图样查看器。另外，还有一个光束剖面仪，它使用对准激光器来测量和记录激光点的形状。该机器还具有先进的干涉测量模型，该模型使用位于物镜中的传感器对晶圆表面进行高度精确的测量。最后，晶片步进器还配备了基于PC的控制器，可以方便地访问设备设置。最后,ASML PAS 5000/45是一种可靠、精确的晶片步进器,非常适合各种芯片阵列制作过程。它结合了先进的光学系统、自动对准和最先进的测量系统，使其成为晶圆级光刻的选择工具。它的高精度和稳定性、长工作距离以及自动对准系统使PAS 5000/45成为芯片生产的绝佳选择。