二手 ASML PAS 5000 / 50 #293586476 待售

ASML PAS 5000 / 50
ID: 293586476
晶圆大小: 6"
Stepper, 6" 0.5um.
ASML PAS 5000/50是一种领先的高端晶圆步进设备,用于半导体制造。作为目前最先进的系统之一,它具有广泛的前沿功能,如可编程光学和高级自动对焦功能。步进系统由两个高度精确的级和一个单一的高功率镜头组成。这些级的联合仰角精度仅为0.8微米,非常适合要求最高精度的应用。其中一个阶段可以摆动高达22度,允许进一步的操控和更精确的定位。除了高度精确的舞台和镜头外,ASML PAS 5000/50还提供了许多高级功能。对于初学者来说,它配备了一个可编程的光学单元,使用户能够为激光曝光和聚焦设置定制的轮廓。这可以为每个晶片提供广泛的曝光级别和设置,使机器成为小型晶片和复杂阵列的理想选择。它还具有先进的自动对焦技术,使其易于使用,并有助于减少因镜片对准错误而造成的缺陷。该工具还附带了许多定制选项,这些选项可以根据生产需要进行定制。例如,可以使用H镜像配置资产,从而实现分割场成像和改进焦点控制。此外,还提供了自动缝合,使其易于一次处理多个晶片。总而言之,PAS 5000/50是一种最先进的晶圆步进模型,可提供最高精度和自动化控制。该系统具有先进的光学设备和高精度级,是任何具有紧密聚焦公差和精确阵列要求的微加工应用的理想选择。
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