二手 ASML PAS 5000 / 50 #293621670 待售

ASML PAS 5000/50是由荷兰公司ASML Holdings NV制造的高精度晶圆阶梯式托盘。步进器是一种全场扫描设备，设计用于处理大小基板，包括硅片、有机基板和光学玻璃板。它允许创建最小特征尺寸为0.15 μ米（1.5nm）的精密微型特征。ASML PAS 5000/50是建立在一个强大的机械设计，集中激光和光学在变质。这个复杂的系统允许机器扫描和暴露工件与编程图像。步进器能够处理透明的基板，范围从硅片到直径达15.75英寸的基板。步进器由三个关键部分组成，分别是扫描台、照明单元和光学机器。扫描台由电磁体的二维排列和两个用于晶圆定位的X-Y台组成。电磁线圈用于驱动两个X-Y表，提供80mm（3.14英寸）的最大位移。照明工具包括80 W紫外线激光器、可选的12 W紫外线激光器、可变形镜校正器和包括高精度透镜在内的光学阵列。高速激光器能够以高达420 Hz的重复率进行扫描，允许线路曝光时间为0.15秒（10毫秒）。步进器还能够检测和校正整个阵列区域的像差,并最大程度地减少焦点变化的影响。PAS 5000/50的光学资产具有一系列短焦距和长焦距镜头,以及双远心校正器。这些镜头旨在减少视野中的像差,同时实现从0.6 μ m到6 μ m的最佳图像光斑大小。步进器还配备了一系列用于成像和对准的相机。PAS 5000/50是各种先进显微镜应用的通用工具。对于需要生产用于制造IC、显示器和光学器件的高精度图样基板的用户来说，这是一个可靠的选择。步进器可靠、高效，为从研发到大批量生产的各种任务提供了有效的解决方桉。