二手 ASML PAS 5000 / 50 #293817883 待售

ASML PAS 5000/50是一种高性能的机器人晶圆步进器，用于从硅板中创建单独的、极其精确的半导体元件。它由一个机械臂设备组成，当晶片和基板接触成像激光束时，它们通过多个真空级移动。系统的核心是一个步进扫描平台，它扫描成像透镜上的图样，以规则图样跟踪电子束的路径。这种图桉被投射到晶圆的表面，并被精确扫描多次，以创建一个精细的详细图像。为了支持晶片的精确移动和跟踪,ASML PAS 5000/50包含了一个高标记单元,可在每个步骤和扫描过程中准确跟踪目标。这允许晶片的精确定位和调整，允许在制造过程中具有高度的可重复性。PAS 5000/50还配备了光学成像机，能够对晶圆表面的电线设备和电路进行计算机检查。这样可以快速轻松地排除肉眼看不到的零件和组件的故障,从而帮助确保以高精度制造零件。此外,步进器还配备了数字校正工具,为步进器的运动提供精细的对齐和高精度编辑功能。这样可以提高投影到晶圆表面的成像激光束的精度,并确保每个元件都忠实于关联的CAD绘图。最后，PAS 5000/50与其他系统高度兼容，例如薄膜测量系统。这使操作员能够测量、检查和调整晶圆表面上薄膜涂层的物理特性。这有助于确保最高生产效率和质量。总之，ASML PAS 5000/50是一种先进的机器人晶圆步进器，专门为生产复杂的半导体元件而设计。其先进的扫描、成像和定位系统有助于确保生产过程中的准确性和可重复性，允许生产极其精确的元件。