二手 ASML PAS 5000 / 50 #293818758 待售

ASML PAS 5000 / 50
ID: 293818758
Stepper.
ASML PAS 5000/50是一种自动化的电动晶片步进器,旨在控制晶片在制造过程中的姿态、移动和操作。该设备提供了比手动晶片步进器更高的自动化水平和准确性。ASML PAS 5000/50具有多种组件,每个组件都具有独特的特性,有助于系统的整体性能。该单元由晶片级和校准臂组成,为步进器提供精细的精确度。晶圆级本身由一个可移动的线性执行器支撑,根据要执行的操作可以在一、二或三个轴中移动。它配备了一个高动态控制器,调节流体流动进行精确运动,提高定位指令的精度。校准臂装有高分辨率传感器,用于测量晶片在各种操作中的确切位置。PAS 5000/50还在机器内集成了智能软件解决方桉。这使技术人员能够编程和快速调整变量,如运动速度、运动范围和编程校正等特征。它还具有具有高摄像头分辨率的晶圆扫描平台、高性能计算机以及用于精确位置检测的激光对准工具。这些特性共同保证了晶圆操作的高精度和重复性。除了资产组件外,PAS 5000/50还提供多种安全功能,旨在确保其操作员的安全。该型号有紧急停止按钮,可用于在需要时快速停止任何移动。它还有一个由高级安全控制器监控的安全电路,即使在意外事件中步进器也能保持安全状态。ASML PAS 5000/50是高精度、自动化晶圆操作的绝佳选择。最先进的软件解决方桉、安全功能和精细调整的机芯相结合,使此步进器能够始终如一地执行精确的晶圆操作。
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