二手 ASML PAS 5000 / 50 #9223541 待售

ASML PAS 5000/50是一台由荷兰ASML Holding N.V开发的先进晶片步进机，利用先进的双光束光学设备、新的减振器和更新的透镜系统，准确精确地聚焦正在加工的晶片上所需的位置。ASML PAS 5000/50设计用于半导体、MEMS和NAND闪存器件的晶圆处理。它配备了40/50 kV电子源，设计用于低能可靠成像。它结合了先进的光学、运动控制和反馈系统,提供高吞吐量和卓越的精度。PAS 5000/50的双光束光学单元提供了广泛的曝光角度和焦高度，使机器能够对传统步进器可能失焦的大模具成像。这种改进的光学工具和新型减振器的组合使机器能够以高精度的方式精确地成像各种特征。新镜头资产和控制系统的结合还使PAS 5000/50能够集成一些附加功能,如自动定位和自动维护。自动定位允许通过改变焦高和曝光角度来自动控制晶片级的运动，从而使晶片上所需的位点能够快速而精确地对齐。自动维护提供灵活可靠的在线成像。ASML PAS 5000/50可实现低至0.25 µm的图像分辨率,而最大级加速度为4.5 m/s ²确保高吞吐量。可以在晶片步进器上添加可选的功能，如自动晶片清洗工具、自动晶片切片工具和BOZR超分辨率选项，以改善对比度和减少噪音。总体而言,ASML PAS 5000/50为半导体器件的制造提供了先进可靠的晶圆成像解决方桉。对于寻求先进、高性能晶圆步进模型的研究人员和制造商来说，这是一个极好的选择。