二手 ASML PAS 5000 / 50 #9235094 待售

ASML PAS 5000/50是一种专用且高度先进的设备，用于集成电路的生产。它是一种先进的步进设备，设计用于在制造过程中提供高分辨率晶片阵列。ASML PAS 5000/50在25mm的高吞吐量范围内提供0.5微米的惊人精度。该系统由一个光刻级、一个真空曝光室和一个具有集成运动控制器的高度精确级组成。运动控制器负责协调舞台的运动，以确保模式放置和分辨率的最高精度。曝光室提供了一个真空环境，在其中对晶片表面进行图样曝光。光刻阶段具有自动化的加载、对准、曝光和卸载功能，以方便高效的吞吐量。PAS 5000/50的主要特点是其先进的曝光技术，利用大功率可见光源和光学器件，以及液体离子抵抗光学器件技术。这一特性提高了成像过程的分辨率，允许芯片制造商使用广泛的光敏配方，允许制造更复杂的图样。PAS 5000/50的设计允许用户将其轻松集成到他们现有的系统和流程中。它被设计为与用户过程控制系统紧密集成，允许自动校准和晶圆处理。该设备还提供过程控制功能,例如温度管理、曝光和后涂层工艺。ASML PAS 5000/50凭借其先进的功能和技术,为芯片生产提供了强大的未来。这台机器提供快速、准确的模式放置，在生产和生产过程中都是高效的。高精度和灵活性使其成为各种芯片制造工艺的理想选择。这个工具是一个完美的除了任何芯片制造商处理线。