二手 ASML PAS 5000 / 50 #9282384 待售

ASML PAS 5000/50是一种晶圆步进器,旨在实现高级半导体器件的精确平版印刷模式。它提供了多种功能,使其能够以吞吐量速度创建高质量、高分辨率的模式,这种速度通常比市场上竞争的步进速度快。ASML PAS 5000/50有一个专利光学设计，使用了五微米步长分辨率和远心光学的组合。这种设计允许非常精确的光刻和非常低的工艺变化，由于一致的步骤精度。步进器还有一个1000瓦的氙灯，可调节以改变曝光光束的能量，以产生精细的细节或更高的吞吐量。这有助于缩短高分辨率流程的曝光时间,从而提高吞吐量。步进器使用紧凑的格式阶段，可用于修改曝光图像的形状。这允许更大的设计灵活性和更短的曝光时间。它还有助于确保可重复的准确性和高性能曝光。PAS 5000/50具有利用双视频检测系统的自动对准系统。这样可以快速、准确地对准小曝光区域,从而确保快速曝光时间并减少拒绝。步进器还具有高精度的定位系统，即使在高通量的生产环境中也能提供额外的精度。这有助于减少曝光和运动时间,从而提高吞吐量。该设备还提供了较大的缓冲区大小,可确保高度曝光模式,而不必增加周期时间。缓冲区大小也是可调整的,它允许根据所需的结果提供灵活性和生产率。最后,PAS 5000/50共有五个独立控制的工艺阶段。这种高度可配置的系统在执行复杂的多步骤过程时可实现较高的吞吐量和准确性。综上所述,ASML PAS 5000/50晶片步进器提供了先进的光学和曝光技术,使用户在创建模式时具有更高的分辨率、更快的速度和更大的灵活性。这使得ASML PAS 5000/50成为生产半导体制造的顶级晶圆步进器。