二手 ASML PAS 5000 / 55 #293586475 待售

ASML PAS 5000/55是为生产半导体晶片而设计的最先进的晶片步进设备。由半导体设备领域的领导者ASML开发的PAS 5000/55提供了无与伦比的速度和精度。ASML PAS 5000/55系统中包含的步进器由一个自动光学引擎组成，它允许通过8英寸晶圆进行光刻。电动运动控制系统允许最大精度，确保晶片在高速下保持相同的环状形状和表面质量。此外，亚微米定位提供比传统步进更精细的分辨率。PAS 5000/55专门设计用于封装IC,如DRAM、SRAM、Flash和ASIC。为确保生产的一致性和可靠性,设备配备了两个线性轴,允许X/Y工作参数,并采用多种曝光方法。ASML PAS 5000/55还具有动态聚焦功能,可调整扫描的焦点以获得最佳精度和性能。此功能有助于减少生产过程中常见的缺陷数量,也有助于加快生产时间。该机器由先进的数字控制板提供动力，能够精确控制从曝光到图像开发的所有生产步骤。控制板还允许高达12MUX的快速处理速度，以及每个时钟周期2.13微米的扫描速率。最后，PAS 5000/55配备了高度先进的软件，使工程师和操作员能够以极高的精确度和轻松度控制和监控每个生产步骤。该软件还允许对工具进行快速故障排除和维护,从而使设置和维护变得轻而易举。