二手 ASML PAS 5000 / 55 #9068441 待售

ASML PAS 5000/55晶片步进器是一种先进的光刻设备，用于半导体器件的制造。它是一种精密成像装置，能够在半导体晶片上产生具有亚像素精度的图样。该机采用专有的Synchroscope对准系统，这是一种独特的技术，它结合了CCD相机拍摄的多个图像的对准和扫描电子显微镜，可以精确覆盖多个图像。PAS 5000/55利用高NA（数值孔径）投影单元，使机器能够产生特征尺寸较小的图桉。此外,该工具还具有管理和优化曝光过程的自动化资产,可确保从设计到生产的精确成像。该模型还能够重迭曝光，从而允许更快的生产时间和更高效的半导体器件生产。ASML PAS 5000/55还融合了多种先进的光刻特性，包括晶圆对准和图像选择。该机可配置为使用暗场照明或明场照明，并配有全方位透镜和光圈面罩。该设备可编程为对晶片进行对准，并包括激光自动对焦系统，以确保精确和精确的成像。该单元可处理多种晶圆尺寸，从2英寸到300毫米，可用于单面和双面处理。该机器还具有内置的监控机器，包括检查和计量功能，以及自动标记工具，有助于确保基板和面罩之间的对齐。封装中还包括一个在线检查资产，允许快速晶圆校正和模式识别。PAS 5000/55晶圆步进器是一种用于半导体制造的可靠、可靠且先进的光刻模型。它为各种尺寸的设备提供了精确和可重复的光刻结果，并旨在提供高生产率和提高产量。该设备适用于小型和大型生产运行，从原型到大批量制造。