二手 ASML PAS 5000 / 55 #9241173 待售

ASML PAS 5000/55是晶圆步进器，专为生产集成电路而设计。用于光刻，半导体制造过程中的重要一步。该设备能够产生优越的微量元件产量，标准生产周期时间刚好超过一分钟。PAS 5000/55使用可编程运动控制器快速定位和对齐两台高分辨率投影仪，使用数字编程模式将半导体晶圆的区域共同暴露于光。这种操作被称为步进，涉及在整个半导体晶圆上投射具有纳米级精度的多个重迭曝光模式。其获得专利的PAS E+轻型引擎体系结构使ASML PAS 5000/55能够在其板载内存中存储多达四种曝光模式,并在单个曝光周期内按顺序执行这些模式。这大大减少了完成整个光刻工艺所需的时间,并允许制造商通过提高吞吐量来降低生产成本。PAS 5000/55还能够进行多层曝光，允许生产更复杂的集成电路。该系统能够在闪存、高速逻辑电路、DRAM和动态随机存取存储器等领域进行曝光操作。ASML PAS 5000/55可以处理的晶片尺寸在直径6到12英寸之间变化,具体取决于设备的配置。其规格还包括0.1纳米的阶梯行程分辨率、0.5%的降压精度、0.2纳米的重复性和0.7纳米的反冲误差减小（BER）。PAS 5000/55配备了一系列安全功能，以确保其运行安全，并且其生产的集成电路质量最高。这些包括自动联锁系统、自动聚焦和对准系统、连续测量的标记位置和检查参数，以及Auto-FPR反馈控制以保持最佳成像条件。ASML PAS 5000/55是一款用于半导体光刻的最先进的机器，适用于需要优越微元件产量和减少生产时间的工厂。它是一种可靠、用户友好的工具，在半导体行业中越来越普遍。