二手 ASML PAS 5000 / 55 #9245465 待售

ASML PAS 5000/55是一种最先进的晶圆步进设备,旨在使集成电路的生产自动化。该系统利用扫描电子显微镜检查和定位晶片上的特征之前和之后的光刻胶薄膜。它可以实现步进元件的精确位置对齐,并且可以对光掩码进行并行测试。PAS 5000/55由一台大型计算机和几个软件、硬件和光学组件组成。该单元包括一个"掩模对齐表",用于精确定位光掩模相对于晶圆的位置,以实现精确的特征成像。还包括一对配有激光干涉仪的曝光头，以对准光学元件，确保曝光时的最佳对准。此外,ASML PAS 5000/55还配备了扫描电子显微镜（SEM）头,该头具有一个在工艺前后检查和定位晶片的阶段。该机的软件套件设计为整合所有元件，可以独立于主机电脑运作。PAS 5000/55配备了先进的空气轴承工具，设计为能够在大气或真空环境中运行。该资产利用专门的光学模型来指导和控制各种光学元件，确保对准和成像的准确性。将光掩码放置在连接到两个主曝光头的特殊适配器上。设备中还包括一对隔振元件，从而实现最大的图像稳定性。ASML PAS 5000/55具有多种光掩码和晶圆尺寸,能够容纳300 mm晶圆的生产。工具中集成的传感器可实现实时调整和过程监控,使其能够准确提高晶片之间的过程稳定性,从而实现一致的性能。利用PAS 5000/55,用户能够实现高精度的集成电路成像。该系统速度快、效率高，其软件和硬件组件旨在确保设备的可靠运行，并确保该过程产生一致、准确的结果。