二手 ASML PAS 5000 / 55 #9300741 待售

ASML PAS 5000/55是一种高度精确的晶圆步进器，用于生产基于晶圆的微电子电路。这台机器能够在各种微型制造技术中高精度地掩蔽底层。它采用了先进的光刻设备，利用来自等离子体放电的极端紫外线（EUV）光在晶片上曝光图样光。PAS 5000/55提供了极佳的模式分辨率,几乎没有失真,使其能够产生非常小的结构并具有高产率。光刻系统利用镜面光学将EUV光投射到安装在步进器中的标线上。机器以高达30 kHz的频率扫描标线，以便在晶圆上产生精确的图样。该单元的光学元件具有0.9的极高数值孔径，以确保最高的图样分辨率。处理器控件接受来自外部的输入，如来自预对齐器的位置数据、速度和加速度数据，以及标线数据，如每次拍摄的重复次数、图桉线宽度和X射线设置。步进器用软件编程，控制激光功率、剂量率和拍摄次数。激光的脉冲重复率高达4 MHz，磁场直径高达200 mm。步进器还能够实现高达20米/秒的高曝光速度,从而实现更高的吞吐量。ASML PAS 5000/55具有多种安全特性和传感器，以确保操作员和机器的安全。这台机器能够在许多不同的环境条件下工作.这包括温度、湿度和振动传感器等功能,以提醒操作员注意任何潜在的污染。PAS 5000/55是芯片生产的绝佳选择。它可靠、准确，能够高效生产复杂的结构。此外,它具有成本效益,并以最小的失真提供出色的模式分辨率,从而允许更高的产量和更少的重新制造周期。