二手 ASML PAS 5000 / 55A #293647910 待售

ASML PAS 5000/ 55A是一种用于半导体光刻的浸入式光学晶片步进器。它能够在167 mm曝光场生产分辨率低于225 nm的半导体器件。ASML PAS 5000/55 A采用ASML IntelliWafer技术,使用户能够减少周期时间,减少晶圆断裂,提高质量和生产率。PAS 5000/55A的总成像面积直径约为16.3英寸（414毫米）,能够产生分辨率低至225纳米的图样。该系统采用先进的计算机控制的紫外线光源，提供了广泛的曝光设置，以适应不同的生产要求。该系统还提供了一些高级功能,使用户能够高效地进行高效曝光。Intellitrace是PAS 5000/55 A的一个特性，自动调整每次曝光的焦点位置。ProFlex功能允许用户在晶圆表面上编程一个图样方向，从而方便地将较大比例的图样转换为较小的图样。晶片的对齐方式也随此特性而改善。ASML PAS 5000/ 55A还为开发人员提供了一个用户友好的编程环境，易于学习和操作。由于该系统可使用多种计算机语言,因此用户可以为这些设备的阵列设计自己的配方。用户友好的图形界面允许用户快速、轻松地进行更正，而无需专业程序员。由于增强的特性和性能,ASML PAS 5000/55 A成为市场上功能最强大、最可靠的晶圆步进器之一。其高分辨率、精确的对齐和可重复性使其适合各种生产要求。它的可编程环境还允许将数据集从较大维度转换为较小维度。使其适合大型和小型项目。