二手 ASML PAS 5000 / 55A #293817881 待售

ASML PAS 5000/ 55A是一种晶圆步进器，用于制造半导体晶圆上的集成电路。这是一个高端的光刻机采用了"overscan"/"下划线"技术和广泛的先进功能，以产生最佳的图像质量。ASML PAS 5000/55 A采用了一种包含固定双轴级设备的步进重复光刻方法。它具有高速定位机构,最大总速度为500 mm/s,可实现大幅面主板对准精度。它还配备了高分辨率的光学定位系统，能够分辨率为0.1微米，精度为0.5微米。PAS 5000/ 55A具有架空等离子体或四能量源,非常适合掩蔽和暴露。它具有较低的热预算，以确保最佳温度的曝光过程。架空光学单元还具有广泛的可调参数，同时设置输入和输出功率电平，以优化嵌入式层的分辨率和均匀性。在光学方面，PAS 5000/55 A装有伸缩光学机器和高分辨率光学器件和透镜，能够成像高达0.7微米。它还包括一个激光干涉仪工具，用于条纹图样测量，改善资产的固有线性，并实现精确的对准定位。ASML PAS 5000/ 55A由一个强大的氙气照明源和优化的光学阵列组成。它还配备了通用的蒙版写入器和自动曝光优化系统。最后,提供了一个用于控制和管理机器的直观软件包。总体而言,ASML PAS 5000/55 A是一种高效、高性能的晶圆步进器,提供最先进的光刻技术和先进的模型体系结构。它能够满足先进级半导体工艺的要求，对于前沿集成电路的生产至关重要。