二手 ASML PAS 5000 / 55A #9233748 待售

ASML PAS 5000/ 55A是利用先进技术制造半导体器件特性的高精度晶圆步进器。该设备是为大量生产高精度晶片特性而设计的，由先进的5轴多向平台和室内3 D装置定位系统组成。它可以容纳300毫米晶圆在其卡盘，精度高达1微米。该单元配备了高分辨率32位图像处理器，用于精确的边缘检测和特征对准。它提供了广泛的模式特征，包括开放、无边界、填充或反向模式；连续、分段或多段模式；一层和两层设计；以及一步或顺序曝光。它也可用于复制现有特征或创建新特征。该机有864步电机，提供对尺寸精度和速度的精确控制。ASML PAS 5000/55 A有一个全面的操作工具，包括用户友好的软件和硬件组件。该软件使用户能够设置和控制资产、执行模式模拟和生成光掩码。硬件由5轴多向平台、室内3 D设备定位模型、CPU和内存单元以及高分辨率图像处理器组成。该设备的先进光学器件配备了自动对焦和自动对准功能，而其成像系统提供亚微米分辨率。它还允许通过以太网进行高速数据传输。PAS 5000/ 55A与大多数晶圆制造工艺兼容，能够以高精度和可靠性生产半导体器件。该单元是为所有类型的用户设计的，从技术经验最少的用户到经验丰富的操作员。易于设置和使用；提供全面的手册、教程和客户支持,以确保操作成功。该机提供了卓越的制造体验，使用户能够快速高效地生产高质量的半导体器件。