二手 ASML PAS 5000 / 55A #9315876 待售

ASML PAS 5000/ 55A是用于生产集成电路（IC）如DRAM、微处理器和逻辑器件的晶圆步进器。它是一种高精度成像设备，使用激光束将图样传递到硅片上。ASML PAS 5000/55 A由光学级、扫描级和控制单元组成。光学舞台包含照明系统、分束单元和投影光学机器。照明工具是一种强大的激光，能够在晶圆上产生精确大小的光斑。分束资产将激光中的光分成两束，然后用来创建光掩模图样。投影光学模型放大了光掩模图样并将其精确对准晶圆。扫描阶段由X和Y定位阶段以及旋转阶段组成。这些级用于相对于光学级生成的模式移动晶片。最后，利用控制单元对晶片步进器的操作进行精确控制。PAS 5000/ 55A能够在晶片上打印图样，分辨率为0.25um，远大于常规胶片技术的精度。此功能使其非常适合生产高密度IC（如DRAM）。该设备还具有较高的吞吐量速率，使其能够在短时间内生产数百个IC。此外,PAS 5000/55 A所需的低暴露剂量使其能够在晶片上产生非常精细的特征而不会损坏晶片。ASML PAS 5000/ 55A是一种可靠、精确的晶圆步进器,通常用于IC的制造。它提供高精度、高通量和低暴露剂量,使其成为生产超高密度集成电路的必要工具。