二手 ASML PAS 5500 / 100 #293814116 待售

ASML PAS 5500/100是为半导体工业设计的顶级晶圆步进器。ASML PAS 5500/100于1990年代初开发,它提供了一种高精度和经济高效的晶片阵列设计方法,这是生产半导体元件的关键步骤。PAS 5500/100具有双照明、5.5英寸视野和6.25英寸高的数值孔径。这种步进器采用50 kHz的氙离子激光器，具有非常精确的阵列设计功能。此外,该设备获得专利的ArF-Laser Direct Primint （LDI）系统提供了一个高性能的环境包,具有200 μ m的聚焦深度。PAS 5500/100还有一个先进的晶圆处理机制，允许晶圆表面的精确对准。自动预对准单元可以精确定位晶圆上的任何现有缺陷,从而进一步增强了此功能。直线电机驱动机进一步减少了舞台和快门之间的任何不对准。此外,ASML PAS 5500/100还提供了一种高级编程工具,可简化阵列的制作过程。此资产利用基于PC的模型软件,使工程师能够以最小的努力设计和实施复杂的设计修改。ASML PAS 5500/100专为极高的吞吐量而设计，最大晶圆输出为每小时100晶圆。这款设备还提供了极高速度的模具对模具平均值,每个模具的速率为25-30秒。总的来说,PAS 5500/100是一个非常可靠和精确的晶圆步进器。该系统提供了高精度、低成本组件和最可靠组件的无与伦比的组合。借助PAS 5500/100,工程师可以放心,他们的晶圆阵列设计任务将以最低的工作量和最高的效率完成。