二手 ASML PAS 5500 / 100 #293817876 待售

ASML PAS 5500/100是半导体工业中使用的晶圆步进器。它是一种高度精确的机器，用于将图桉化的层转移到硅片表面。这有助于减小组件的尺寸,从而提高集成电路的密度和小型化。ASML PAS 5500/100是一款配备光学投影曝光工具的先进光刻设备。它能够将聚焦模式投射到接近原子分辨率的硅片表面上。这是使用多个帧来完成的,每个帧都有自己的模式,以避免曝光运动引起的问题。基板放置在可移动基板表中，光刻系统聚焦在基板上。该单元装有半导体曝光平台，或称掩模。掩码板包含一系列阵列结构,这些结构定义要投影的阵列。屏蔽板上的每个单独框架都有自己的图桉，这是用来在基板上创建一个更大的曝光图桉。PAS 5500/100还配备了投影光源。这是典型的激光光源，如弧光灯。将光源编程为产生精确聚焦的光束，然后将光束投射到掩模曝光图样上。该机还配备了曝光控制器。该控制器用于调整曝光时间、强度和能量等曝光参数。这些参数用于调整投影到基板上的图桉的大小、形状和精度。PAS 5500/100还包含一个扫描工具，用于在曝光头下方移动基板。这用于启用基板不同部分的曝光,从而允许资产在多个曲面上投影图桉。最后，该模型包含一个晶圆控制设备。它用于控制每个晶片的位置精度和曝光设置。它用于设置焦点、曝光时间、强度和能量参数,以确保将图样一致、高质量地投影到基板表面。总之，ASML PAS 5500/100是一种高度精确的机器，用于将图样传递到硅片表面。它包含许多组件,包括掩模、光源、曝光控制器、扫描系统和晶圆控制单元,使其能够在图样投影到基板上时达到接近原子分辨率。