二手 ASML PAS 5500 / 100 #9045059 待售

ASML PAS 5500/100是为半导体工业设计的先进晶圆步进器。这台机器能够一次扫描多个晶片的表面，以创建精确的图像。扫描过程准确、可重复，使机器能够快速制造出最小缺陷的微小设备结构。该设备配有用于定位晶片卡盘的电动机驱动的x轴和y轴。它也有一个能够进行z轴扫描的物体透镜，让它即使在晶圆的不均匀表面之上也能扫描一个完整的晶圆。机器的扫描尺寸达到7.8毫米或200 μ米,使其能够处理大型基板以及非常小的设备。令人印象深刻的是，ASML PAS 5500/100配备了25mW ArF激光源，其工作波长为193nm。这种激光结合了深紫外线照射和高速z轴扫描过程的力量，提供了快速、精确的发展。此外,它还可以轻松处理具有复杂图样的晶片并对其进行成像,甚至可以使用细线和短间距。该系统采用特殊的曝光传感器和接口软件构建，旨在检测光学单元的二阶像差。这保证了尽管基板振动较弱，机器仍能以高精度运行，因此避免了不稳定的模式。而且，曝光过程的每个步骤都是实时监控的，因此即使在潜在的损害发生后也可以继续进行开发。为了跟踪开发,机器的控制面板是完全交互式的.可以直接从面板上查看晶片的状态和扫描数据，面板甚至配有用于改变光源的慢跑轮。综上所述，PAS 5500/100是一种高度可靠的晶圆步进器，能够产生高度精确的图像。它具有25mW的ArF激光源和严密控制和精确的曝光监测机，并配有一个易于跟踪的交互式控制面板。总而言之，它是获得最佳工艺结果的完美机器。