二手 ASML PAS 5500 / 100 #9218991 待售

ASML PAS 5500/100是由半导体设备公司ASML制造的最先进的晶圆步进器，使半导体制造商能够生产出更快、更高效的器件。该机有多种元件，都是为满足先进芯片生产的严格需求而独特设计的。ASML PAS 5500/100具有对准级，由两轴线性执行器、倾斜执行器、主轴和光学编码器组成，以极高的精度测量该级的位置。这种精度使机器能够根据要打印的图样的微观细节自动调整其在晶片上的位置，从而提供最精确的可能打印。步进器还包括一个晶片处理设备，设计用于在生产过程中安全准确地运输晶片。该系统由一个晶片盒、夹具、卡盘和两个装卸机器人组成，每个机器人都有六个软垫真空臂。机器人和手臂由计算机单元和伺服电机控制，以确保晶圆在运输过程中的精确运动。此外，PAS 5500/100利用先进的激光扫描技术，引导紫外线在晶圆上的曝光，以创建用作电路通路的微观线路。这是由308 nm激光光源完成的，该光源向一系列镜子和透镜发光，将其照明集中在晶圆上非常小的目标上。PAS 5500/100的最终关键部件是它的视觉机器。视觉工具使用两个摄像头，一个用于捕获低分辨率图像，另一个用于捕获更高分辨率图像。这种双相机资产使机器能够精确地捕捉晶圆上的详细微观图样，对于生产高质量的半导体器件至关重要。总体而言,ASML PAS 5500/100是一个令人印象深刻的晶圆步进器,具有多种组件,它们可以协同工作,在半导体晶圆上提供高精度的紫外线曝光。其先进的激光扫描、双摄像头视觉模型和精密的晶圆处理组件使其能够创建最复杂和详细的微观模式,这对于现代设备的生产至关重要。