二手 ASML PAS 5500 / 100C #293804502 待售
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ID: 293804502
优质的: 1995
Stepper
DNS Wafer track, 8"
(2) Coater / (2) Developer system
1995 vintage.
ASML PAS 5500/100C是为集成电路制造而设计的先进晶圆步进器。这种晶圆步进器具有很高的吞吐量速率和精度,可以生产高质量的半导体器件。它能够处理高达每小时21,000个模具,并且可以容纳从25毫米到200毫米的各种晶圆尺寸。ASML PAS5500/100 C由五个主要组件组成。第一种是标线级,是一种精密的装置,持有持有所需电路模式的光掩模。二是晶片和扫描仪组件,是一种机械臂,以精确的单向速度将晶片和光掩模相互移动。第三个组成部分是投影设备,它由许多镜头和镜子组成,这些镜子和镜子以所需的精确模式将图像投射到晶圆上。第四个组件是对齐系统,它使用机器视觉单元来检测模式并对齐所需的坐标。最后,第五个组件是计算机,它处理图像数据以创建所需的模式。PAS 5500/100 C配备了多项功能以提高性能。这些功能包括高分辨率成像工具、高速、低噪声扫描资产和高精度对准模型。晶圆级能够与集成的自动校准设备保持微观精度,即使在高速下也是如此。该机先进的光学和精密的计算系统也促进了更大的吞吐量、提高的精度和高度可靠的生产。PAS5500/100 C也是一台高效的机器,因为它能够通过一次扫描处理多个标线。此过程称为"突发扫描",可显着提高生产率并降低生产成本。晶圆步进器还能够适应各种不同的工艺要求,并提供广泛的加工选项。总体而言,ASML PAS 5500/100 C是一种高性能的晶圆步进器,具有高的吞吐量和准确性。它有助于减少生产时间,提高精度和产量,方便生产高质量的半导体器件。该设备具有高度的可配置性,可以满足各种晶圆尺寸和工艺要求。
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